Всем доброго дня!
Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено?

Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf

Не говорят там из чего сделано...

Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.

бывает датчик на кварце, Доплера эффект однако

Также используются изгибные деформации.

Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS) будут работать в условиях сильных магнитных и/или электрических полей? Никто не сталкивался с этим? Если кремний, то наверно будет реагировать на магнитное поле плюсом к ускорению? И вообще, MEMS - системы внутри датчика экранированы? И чем: диа- пара- магнетиками или ферромагнетиками или и тем и другим, или ничем? Вобщем, есть сомнения по поводу корректности работы датчика в магнитном поле... Если кто может, подтвердите или опровергните пожалуйста.

А где у кремния плюс? В ядрах?

Если акселерометр изготовлен по принципу:

то, при движении акселерометра в сильном магнитном поле, будут изменения показаний датчика. Наблюдал этот эффект при работе на расстояниях примерно 0,5м от провода с током порядка 200А и скорости датчика порядка несколько сантиметров в секунду...

Так и думал, спасибо за информацию



"Плюсом" имелось ввиду "в добавок" к ускорению

При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции.
Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля.

В моем примере внешние аналоговые цепи были минимальны. Аналоговые выходы трехосевого акселеромера были заведены непосредственно на входы АЦП МК. Длина дорожек - где-то 5-10мм. Результат измерения передавался уже в цифре. Сам датчик, вместе с обвеской, был заключен в герметичный алюминиевый корпус с толщиной стенки где-то 3-4мм. Наружу выходили только питание и RS485. Но самое главное, если бы были существенные наводки на аналоговые цепи, то искажались бы все три значения ускорений. А так наблюдалось искажение только по одной из осей - перпендикулярно направлению линий магнитного поля и направлению движения датчика (с постоянной скоростью) - в полном соответствии с правилом правой руки.

Я имел в виду аналоговые цепи внутри датчика.
А проверить можно помещением его в постояное маг. поле.
Защититься - магнитным экранированием датчика.

Так там и было почти постоянное...

До этого ход не дошел... Вносимую погрешность сочли приемлемой, в рамках данной конкретной задачи...

http://www.alibaba.com/product-gs/64109058...elerometer.html
акселирометры никаких mems