Используйте select(), читайте man select, как это сделать

тайм-ауты select() выражены в той же дискретной сетке timeslice, и срабатывание наступит на следующем (а иногда и не следующем) истечении timeslice ... т.е. задачу временного разрешения это никак не меняет.

P.S. кроме того, select() - это один из самых старых и мощных средств API, но именно из-за того, что старых - он принципиально not thread safe, что в новых проектах может стать ну очень серьёзным препятствием ... с select() нужно сильно осторожно .

Решение есть. Появилось совсем недавно, в виде патча к последнему(или одному из последних) ядер 2.6. Собственно, страница с патчем: http://kerneltrap.org/node/6750 После патча и включения его в ядро, функции usleep и nanosleep начинают работать настолько точно, насколько позволяет ваша машина. (Насколько я понимаю, зависит это от чипсета) Мне-таки удалось получить 100 микросекундную выдержку - проверял осциллографом. На старом компьютере (PIII c VIA Apollo Pro) минимальным временем задержки стала 1 миллисекунда вместо 20 мс, что тоже неплохо. Впрочем, судя по дате последнего сообщения, это уже неактуально.

P.S. А вот интересно, под windows кто-нибудь пробовал получать задержки в порядка сотни микросекунд..?