Ну и кто тут ругал меня за лазерную фотолитографию с разрешением 2 мкм? Которая еще и неучтенных подтравов дает как минимум 2-3 мкм на меди 8 мкм. А размеры обсуждаются с точностью 100 нм.
Моделировать фильтр надо обязательно с монте-карлой на все размеры на 3 сигмы точности фотолитографии. Точность определять экспериментально. А, еще лазерные фотошаблоны иногда садятся по одной из оси пленки. Так что вообще получается анизотропия размеров.
ЗЫ. Металлографический измерительный микроскоп кто-нибудь применяет для проверки геометрии фильтров? Есть ли возможность автоматизировать процесс при использовании камеры и машинного зрения? А то очень нудный процесс проверки геометрии ручками.
ЗЫ2. Сейчас из этого любительского проекта http://www.diyouware.com/front пробуем сделать рисовалку для фильтра. Но в векторном режиме оно слишком долго выходит и линза блю-рея дрожит по свободной координате. Хотим сделать электронный скан по одной из координат актюатором трака дорожки. Но нужен сигнал обратной связи по положению линзы. Есть ли идеи, как его встроить в стандартный blue-ray pickup?

Это действительно так. Но я несколько раз сталкивался с похожими измерениями, если топология чуть-чуть не попадает в сетку. И какой же размер ячеек должен быть в сетке, если моделировать в ЕМ?

Там по вашей ссылке в смежном видео более интересный агрегат работает: PCB Laserprinter Судя по результатам, его на большее может хватить.

От подтрава можно уйти, если вырезать фильтры на специальной установке и удалять фольгу в зазорах механически. У нас такая установка есть, но почему-то она не очень здесь популярна. Думаю, что точность такого метода таки оставляет желать лучшего. Да и для поликора такая методика не подходит.

Механически удалять фольгу- уточните, какой метод имелся ввиду. Подрезка скальпелем краев и сдергивание полосок пинцетом- чисто ручная операция, не представляю как ее автоматизировать. Влекомые ножи от пленочных рекламных плоттеров имеют слишком низкую механичекую прочность для резки фольги. Как автоматизировать пинцет- вообще слабо представляю.
Если имелась ввиду микрофреза- то тут несколько проблем. Фреза лохматит поверхность диэлектрика. В диэлектрике с керамическим наполнением даже твердосплавная фреза тупится очень быстро. После фрезы куча мелкой медной пыли забивает всю плату, даже при использовании пылесоса- требуется УЗ мойка. Если плата уже запаяна в корпус то подобраться фрезой и не сломать ее о край корпуса или выступающие элементы- граничит с искусством. Ну и по поликору и сапфиру метод не работает.
Прямое выжигание фольги лазером- пока в стадии теор проработок. Проблема в том, что по меди достаточно чисто работает только УФ лазер. Типа третьей гармоники YAG.

На фильме чисто координатный прототип рисовалки- он слишком долго рисует топологию, т.к требуется заштриховать все полигоны остро сфокусированным лучем. Мы с этого начинали- все работает, но слишком медленно. Решение состоит в том, что должно быть быстрое сканирование по одной из осей, тогда механика ведет головку над заготовкой, а дефлектор засвечивает полосу 2-3 мм растровым сканированием. Можно конечно делать такую голову с нуля, но это дорого и требует кучу микромеханических работ. Как видно, можно попытаться приспособить готовый пикап от блю-рея. По крайне мере проблему автофокусировки используюя родные датчики пик-апа в проекте по моей ссылке решить получилось.

Да, это была чисто ручная рутинная работа, которую я никогда не делал, а делал мой коллега. Долго бился над лезвием, заменив имеющееся на осколок от лезвия ножа для бумаги, которого тоже хватало не на долго. В агрегате нормировалось усилие прижимания лезвия к поверхности ламината, его надо было экспериментально подбирать для различных материалов. И снятие фольги - тоже вручную, никакой автоматики. Наверное, потому это всё и забросили...