Насчёт микроскальпеля точно не знаю, но какойто прибор для резки топологии они сделали. Заведует лабораторией профессор Беляев. Их можно найти в интернете. Или затра могу дать более точную информацию если интересно, сейчас под рукой просто нет

Вообще очень интересно. Спасибо.

Заодно узнаю сколько прибор стоит. Хорошая альтернатива степперу для маленькой лабы и единичных фильтров.

Почему ручками? Можно в ads в топологии создавать переменные и далее их оптимизировать. Или написать ael макрос для создания структуры с переменными и далее опять её оптимизировать. Правда нужен быстрый компьютер, время и естественно ADS, у меня получилось создать оптимизатор моста Ланге (своей структуры, а не готовый), на макросе. В sonnet вроде тоже можно ЕМ структуру оптимизировать.


Есть производитель различных устройств для прототипирования печатных плат, вот например их лазерная система http://www.lpkf.ru/products/rapid-pcb-prototyping/laserstructuring/protolaser-s.htm

Сообщение отредактировал Boriskae - Oct 13 2014, 05:21

Здравствуйте. На бывшей работе стоял такой девайс. Очень дорогой ( 6 млн вроде), очень боится вибрации при работе, когда проезжает трамвай он начинает "куралесить".

Т.е. понятно что ФГУПы могут себе позволить за казенные деньги, а вот для маленькой конторы это не подъемно.

Высылаю обещанную информацию по Красноярскому институту физики. Мы у них приобрели только программу синтеза фильтров Filtex32 без «Скальпель-96», попросив добавить туда экспорт в dxf файлы, в оригинале этого нет. Возможно этот «Скальпель-96» работает только с фильтрами, синтезированными по их программе. Но это можно у них уточнить и может попросить что-нибудь добавить. Не думаю, что будет стоить слишком дорого, но предварительно ознакомиться не мешало бы.

Спасибо. Пробовал в личку писать, но сайт висит.
Вызывает сомнения точность этого скальпеля. Да и перспектива пленку снимать с материала под микроскопом тоже не радужная. Там на фотографиях по ссылке фильтры больно здоровые. В нашем случае даже хорошей немецкой каленой иглой при размере фильтра 3х5мм думаю не снять срезанные куски лака.
А вот по софту надо разузнать.

Да висит. Мейл можно было бы в личку. Я кое чего наваял.

Пример фильтра с несовсем стандартной топологией смоделированного в AWRDE на сапфире толщиной 0.3 мм.

Можете ли ли добавить в проект рассчет монте-карлой чувствительность фильтра к изменениям размеров? Ну и сами проектом поделится, особенно если он с автоматической оптимизацией параметров геомерии фильтра?
Вопрос- можно ли как то учесть, что нижняя поверхность сапфировой подложки бывает матовая? Не всегда есть возможность применять двухсторонне полированные подложки, а потери на матовости не фатальны, но неплохо бы уметь их моделировать.

Расчёт "монте-карлой" не делал, хотя в последних версиях AWRDE это можно делать на электродинамическом уровне. Однако переменных довольно много и это займёт приличное время. Это же относится и к оптимизации. Но, во-первых, это только пример, во вторых на таких частотах такую топологию врядли стоит применять, не так уж много она выигрывает по сравнению с обычной шпилькой, а разброс характеристики, наверное, у неё будет побольше. Мы уже давно используем малогабаритные фильтры на сапфире и при использовании топологии, обеспечивающей воспроизведение геометрии с высокой точностью, настройка не требуется. Для анализа использовался симулятор Sonnet. В нём, кажется, можно учесть шероховатость подложки. Но ведь это срез кристалла. Я не знаю, какая у него шероховатость, но врядли она заслуживает внимания. Если хотите, завтра выложу прект. Только я не знаю, какая у Вас версия и есть ли Sonnet. Если Sonnet нету, могу пересчитать в AXIEM.

Производитель дает для сапфировых подложек
SURFACE CONDITION
BACK SURFACE ROUGHNESS 0.8 - 1.2 µm
А монте-карлой хотелось бы проверить необходимую точность литографии. Задать три сигма 10 мкм и посмотреть что получится по разбросу параметров.

Хорошо, попробую, но не уверен, что получится. Я пока не представляю, где можно задать вариацию этого параметра. Одно дело задать разброс линейных размеров в зависимости от топологии, а другое - задать разброс шероховатости. Мы как-то разброса не наблюдали, разве что на температуре.

Выкладываю обещанный проект. Директор Питерской компании, которая делает фильтры ПАВ на сапфире, а заодно и наши фильтры, говорит, что работает только с сапфиром росийского производста, подложки из которого поставляет Ставрополь. Он считает, что по качеству и стабильности параметров они превосходят зарубежные образцы. Могут поставлять толщиной 0.3 мм и другой, с полировкой одной стороны и двух, по желанию покупателя. Они поставляют свои подлжки в Японию и другие страны, компаниям LG, Samsung и др., которые используют их для производства светодиодов и микросхем, контролируют около 20% мировых поставок сапфировых подложек. Толщина меди в наших фильтрах 3 мК до 20 ГГц и 1.5 мК - выше. Защитный слой 1 мК, был никель, теперь освоили золото. Допуск на размеры топологии ±0.3 мК до 20 ГГц, и ±0.15 мК выше. К тому же изготовители фильтров при необходимости подстраивают центральную частоту. Поэтому со статистическим анализом мы не связывались. Но если хотите, можете это сделать сами. Шероховатость можно задать и в Sonnet, и в Genesys. Причём она задаётся на обе поверхности подложки, если я правильно понял.
Синтеза этого фильтра я не делал. Посто взял старый проект классической шпильки, близкий по частоте и шириной полосы пропускания 1 ГГц. Сдвинул его по частоте, расширил полосу и отредактировал в несовсем классическую топологию. Поэтому схемы в проете нет.

Вот синтезнул на 20Гиг эллиптический 4 го порядка. Довольно кашерно получается, можно суспендед те
погребенный в диэлектрике меж двух земель. Это вобще супер, можно как отдельный девайс или в общей плате сховать в междуслойе. Зазоры по 0.2мм, микрополосок 0.45мм, субстрат 8mil Roger 4003.

Ну и что хорошего в вашем фильтре? Паразитная полоса пропускания на удвоенной частоте, маленький порядок фильтра, (слабое подавление за пределами полосы). Да еще проблемы с точностью изготовления, это Rogers, его травить надо. Да и потери наверное 5 дБ будут при 10% полосе пропускания.

Сообщение отредактировал freeport - Nov 6 2014, 19:28