Добрый день коллеги!

Возможно тема не по адресу, но мне кажется эта ветка наиболее подходящей.т
Столкнулся с пролемой, и не могу понять физику процесса.

Есть тензорезистивный чувствительный элемент, изготовленный по тонкопленочной полупроводниковой технологии.
Чувствительный элемент образован мостом Уитстона на сапфировой подложке. Резисторы формируются кремниевым эпитаксиальным слоем.
Сопротивление отдельного резистора ~4 кОм. Сопротивление изоляции ~10 ГОм. Чувствительный элемент избыточного типа с верхним пределом измерения 40МПа.

При испытаниях на долговременную стабильность выходного сигнала обнаружил следующее поведение:
Чувствительный элемент помещен в термокамеру, установлена стабильная температура +25. Мост запитан стабильным напряжением +5В. Избыточное давление к чувствительному элементу не приклаыватеся (т.к. измерения идут при атмосферном давлении).
Для измерения используется прибор Agilent 34401.
На выходе измеряем нулевой сигнал, из-за технологического разбора параметров начальный сигнал имеет некоторое начальное смещение.
Измерения проводятся в течении нескольких суток с интервалом 15 секунд.

Обнаружено, что в течении первых суток происходит сильный уход начального сигнала (величина ухода несколько сотен микровольт). Причем если отключить питание моста, и через некоторое время вновь провести измерения картина полностью повторяется.
Для исключения особенностей измерительного тракта в камеру был помещен мост, изготовленный из постоянных резисторов. Там все линейно и никаких дрейфов нет.
Чуствительные элементы прошли предварительную электротермотренировку в течении 50 часов.

Эксперимент проводился одновременно на 10 образцах чувствительного элемента + два моста из постоянных резисторов.
Во всех случаях результаты повторяют приведенные ниже картинки (Ось абсцисс - время в часах, ось ориднат - напряжение моста в мВ. Переменное питание это смена полярности питания раз в минуту, измерение происходит всегда в одной полярности).

Эксперимент в течении 5 суток, каждые сутки изменяли порярность питания.


Чем объясняется столь сильный дрейф сигнала во времени?

Сообщение отредактировал x83 - Apr 19 2017, 07:32