реклама на сайте
подробности

 
 
 
Reply to this topicStart new topic
> CIF формат и лазерный степпер, Вопросы чайника
khach
сообщение Apr 30 2008, 12:57
Сообщение #1


Гуру
******

Группа: Свой
Сообщений: 3 439
Регистрация: 29-12-04
Пользователь №: 1 741



Добрый день.
Срочно понадобилось просветится по вопросам использования лазерного степпера (прямая запись на фоторезист лазерным лучем). Как следует из документации входные файлы должны быть в формате CIF (Caltech Intermediate Format). Описание вроде нашел, там все просто. Но редактор этого формата, который шел в комплекте со степпером, извините, ниже плинтуса по своим пользовательским качествам. Что можете посоветовать в качестве софта для подготовки литографии? Сразу скажу, это не кремний с его нанометрами- материалы и технологии совсем другие.
И второй вопрос- в начале и конце вектора степпер пересвечивает фоторезист (получается жирная точка). Можно ли задать время от начала движения луча до включения лазера в файле CIF?
Go to the top of the page
 
+Quote Post
zzzzzzzz
сообщение Apr 30 2008, 13:08
Сообщение #2


Профессионал
*****

Группа: Свой
Сообщений: 1 724
Регистрация: 1-05-05
Из: Нью Крыжопыль
Пользователь №: 4 641



В cif умеет экспортировать Таннер. Рисовалка у него близка к идеалу.
Не уверен, что в cif есть что-то, кроме как геометрическая информация, управлять построителем представляется из этого формата проблематично.
Наверное, есть какой-то штатный переходник из cif в команды для перемещения луча - иначе как засветить, например, прямоугольник, описанный двумя парами координат?
У Таннера раньше была версия софта MEMS CAP, заточенная под рисование микромеханических узлов. С кучей примитивов типа шестерен, спиралей и т.п.

А формат, действительно, прикольный. Как-то даже кусок топологии на нем писал, когда надо было автоматизировать большой объем операций размещения фигур.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
soshnev
сообщение May 7 2008, 14:13
Сообщение #3


Частый гость
**

Группа: Новичок
Сообщений: 119
Регистрация: 26-08-05
Пользователь №: 7 989



Цитата(khach @ Apr 30 2008, 15:57) *
Добрый день.
Срочно понадобилось просветится по вопросам использования лазерного степпера (прямая запись на фоторезист лазерным лучем). Как следует из документации входные файлы должны быть в формате CIF (Caltech Intermediate Format). Описание вроде нашел, там все просто. Но редактор этого формата, который шел в комплекте со степпером, извините, ниже плинтуса по своим пользовательским качествам. Что можете посоветовать в качестве софта для подготовки литографии? Сразу скажу, это не кремний с его нанометрами- материалы и технологии совсем другие.
И второй вопрос- в начале и конце вектора степпер пересвечивает фоторезист (получается жирная точка). Можно ли задать время от начала движения луча до включения лазера в файле CIF?


В качестве редактора действительно подойдёт Tanner(L-Edit).

По второму вопросу - надо искать способ описания, например рисовать не полигонами (векторами) (последняя точка совпадает с первой) а прямоугольниками.
Go to the top of the page
 
+Quote Post

Reply to this topicStart new topic
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 


RSS Текстовая версия Сейчас: 10th July 2025 - 22:39
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01368 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016