| |
|
  |
 Как калибровать synopsys TCAD 10 под заданный техпроцесс. |
|
|
|
|
 Aug 17 2010, 13:49
|
Группа: Validating
Сообщений: 8
Регистрация: 23-04-10
Пользователь №: 56 843
|
а какая версия дистрибутива?
насколько я знаю калибруется по профилям
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 22 2010, 12:53
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 35
Регистрация: 18-10-09
Пользователь №: 53 036
|
я делаю как...беру технологическую карту нужной операции, например разгонка р-кармана, делаю последовательно операции загрузки, нагрева, окисления, перераспределения примеси, по заданным в карте временам и температурам, и проверяю контролируемые параметры, как правило это толщина окисла, если есть окисление, Rs, и глубина p-n - перехода. если все это попало в "ворота" то дальше в любом маршруте где есть эта операция - копи-паст и все. Если какой то из параметров не попадает в нормы, то начинаются танцы с бубном, а именно меняю среду, парциальные давления газовой смеси, или потоки газов, если не хватает толщины окисла то добавляю воду. Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)
Сообщение отредактировал KriegerNsk - Aug 22 2010, 12:54
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 23 2010, 11:12
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 25
Регистрация: 20-08-10
Пользователь №: 59 028
|
Цитата(KriegerNsk @ Aug 22 2010, 16:53)  Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки) или наоборот советские установки под TCAD =) в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 25 2010, 10:23
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(R1kky @ Aug 23 2010, 15:12) или наоборот советские установки под TCAD =)
в спроцесс вроде есть опция AdvancedCalibration которая чуток оптимизирует сама Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"?
Сообщение отредактировал baumanets - Aug 25 2010, 10:25
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 25 2010, 13:48
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 25
Регистрация: 20-08-10
Пользователь №: 59 028
|
Цитата(baumanets @ Aug 25 2010, 14:23) Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb
Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"? огромный pdbSet в помощь
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 26 2010, 10:19
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(R1kky @ Aug 25 2010, 17:48) огромный pdbSet в помощь я это и без тебя знаю. Меня интересуют те, кто крутил их параметры.
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Aug 31 2010, 13:20
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 25
Регистрация: 20-08-10
Пользователь №: 59 028
|
Цитата(baumanets @ Aug 25 2010, 14:23) Меня интересует, чтоб профили соответствовали, а не только глубины для элементов: B, P, Sb
Там есть своя база данных параметров, в т.ч. для окисления Массауда. и Дила-Гроува модели. Кто их "крутил"? правильно ли я понял, что ты хочешь проверить соответствие профилей после диффузии промоделированный и практический? т.е. у тебя они не совпадают,верно?
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 3 2010, 17:17
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(R1kky @ Aug 31 2010, 17:20) правильно ли я понял, что ты хочешь проверить соответствие профилей после диффузии промоделированный и практический?
т.е. у тебя они не совпадают,верно? Да.
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 5 2010, 05:23
|
Участник
Группа: Участник
Сообщений: 35
Регистрация: 18-10-09
Пользователь №: 53 036
|
по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения
|
|
|
|
|
|
|
|
Sep 5 2010, 18:41
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
|
Цитата(KriegerNsk @ Sep 5 2010, 09:23) по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?
--------------------
|
|
|
|
|
|
|
|
Jun 24 2011, 10:06
|
Группа: Новичок
Сообщений: 5
Регистрация: 22-01-08
Пользователь №: 34 309
|
Цитата(baumanets @ Sep 5 2010, 22:41) Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить? По CV на FATFET например можно профиль получить.
|
|
|
|
|
|
|
|
Oct 4 2012, 18:08
|
Группа: Новичок
Сообщений: 2
Регистрация: 26-08-12
Пользователь №: 73 254
|
Цитата(baumanets @ Sep 5 2010, 21:41) Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить? http://epiel.ru/ru/ - снимет точно, начёт цены не знаю, но думаю не особо дорого, ибо они этых профилей делают великое множество.
|
|
|
|
|
|
|
|
Oct 5 2012, 10:52
|
Местный
Группа: Свой
Сообщений: 376
Регистрация: 20-06-09
Из: BY
Пользователь №: 50 480
|
Цитата(baumanets @ Sep 5 2010, 20:41) Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить? Хоть вопрос уже устарел, но в Минске в НТЦ "Белмикросистемы" таким делом успешно занимается подразделение "Белмикроанализ".
|
|
|
|
|
|
|
|
2 чел. читают эту тему (гостей: 2, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0
|
|
|
