реклама на сайте
подробности

 
 
 
Reply to this topicStart new topic
BarsMonster
сообщение Apr 27 2011, 23:29
Сообщение #1


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849



Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post
_Vladimir_
сообщение Apr 29 2011, 14:05
Сообщение #2


Частый гость
**

Группа: Свой
Сообщений: 114
Регистрация: 10-05-05
Пользователь №: 4 893



Цитата(BarsMonster @ Apr 28 2011, 02:29) *
Прошу прощения за глупый вопрос - если пастой ГОИ пластину полирнуть - ей станет совсем плохо с точки зрения грязи (по нормам солнечных батарей / низкотехнологичных МС)? Или потом в HF стравить верхний слой и все ок?
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотя бы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Скорее всего ГОИ не получится, лучше сразу алмазные пасты, наверное последовательно снижая зернистость.
И станок высокооборотный.
Кремний же очень твердый, но хрупкий на излом.

В идеале, моют деионизированой водой, если не ошибаюсь, вода с удельным сопрот. то ли еденицы, то ли десятки. Мом/м или см, уже не вспомнить.
Не знаю о пластинах, но монокристаллы-затравки, кажется травили (особо не обращал внимания).
В любом случае если травить, то мыть ведь потом надо.
УЗ тоже должен помочь.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
BarsMonster
сообщение Apr 29 2011, 15:16
Сообщение #3


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849



Цитата(_Vladimir_ @ Apr 29 2011, 16:05) *
Скорее всего ГОИ не получится


Хмм, сегодня попробую... Быть может все гораздо хуже чем я думал )


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post
SNGNL
сообщение Apr 29 2011, 16:53
Сообщение #4


Знающий
****

Группа: Участник
Сообщений: 937
Регистрация: 1-09-08
Пользователь №: 39 922



Цитата(BarsMonster @ Apr 28 2011, 04:29) *
Если ГОИ нельзя, то чем можно, чтобы хотябы до 7 класса (~0.5мкм) отполировать и не загрязнить?

Карбид кремния (микропорошки) на воде. Подложка- стекло или ситалл. Моют растворами по кличке - “пиранья”. Один для удаления органических загрязнений, другой для неорганических. По памяти, один - NH3+H2O2 , второй - HCL+ H2O2. Если надо, уточню. При необходимости (удаление поврежденного полировкой слоя), поверхность травят плазмой (обычно аргон). С ультразвуком связываться не советую, от малейшей трещины пластина разваливается на куски.
Go to the top of the page
 
+Quote Post
BarsMonster
сообщение Apr 29 2011, 18:24
Сообщение #5


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849



Цитата(BarsMonster @ Apr 29 2011, 17:16) *
Хмм, сегодня попробую... Быть может все гораздо хуже чем я думал )


Да, действительно, ГОИ почти не берет кремний ) 5 минут работы на 1см^2 - а зеркала еще нет, но визуально небольшой прогрес конечно виден. В микроскопе - те же бугры по 15-25 микрон, видимо только чуть подравнялись "вершины".

Я как то и не подумал, что у стали/меди которые раньше полировал успешно - твердость по моосу 3-4, а у кремния то 7 :-)

Придется ехать за подсказанными абразивами, спасибо.

Насчет Пираньи - а пластины с заводской полировкой им не обрабатывают? Из упаковки - и в работу?


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post
SNGNL
сообщение Apr 29 2011, 19:48
Сообщение #6


Знающий
****

Группа: Участник
Сообщений: 937
Регистрация: 1-09-08
Пользователь №: 39 922



Цитата(BarsMonster @ Apr 29 2011, 23:24) *
Насчет Пираньи - а пластины с заводской полировкой им не обрабатывают? Из упаковки - и в работу?

По договоренности с поставщиком. Мы получаем в негерметичных контейнерах, затем вейферы разрезаются (грязный процесс). Поэтому сами проводим полный цикл очистки (не только химия).
Go to the top of the page
 
+Quote Post
Пушкарев Михаил
сообщение Apr 30 2011, 04:49
Сообщение #7


Профессионал
*****

Группа: Участник
Сообщений: 1 076
Регистрация: 14-11-06
Из: г. Ульяновск
Пользователь №: 22 301



Цитата(BarsMonster @ Apr 29 2011, 22:24) *
Да, действительно, ГОИ почти не берет кремний ) 5 минут работы на 1см^2 - а зеркала еще нет, но визуально небольшой прогрес конечно виден. В микроскопе - те же бугры по 15-25 микрон, видимо только чуть подравнялись "вершины".

Я как то и не подумал, что у стали/меди которые раньше полировал успешно - твердость по моосу 3-4, а у кремния то 7 :-)

Придется ехать за подсказанными абразивами, спасибо.

А попробуйте-ка полировать пастой ГОИ оргстекло - достаточно мягкий материал. Удивитесь еще больше.
Полировать алмазной пастой, отмывать деионизованной водой, травить плавиковой кислотой.
Go to the top of the page
 
+Quote Post

Reply to this topicStart new topic
2 чел. читают эту тему (гостей: 2, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 


RSS Текстовая версия Сейчас: 23rd June 2025 - 12:00
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01395 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016