Собственно сама задача в заголовке темы. Возможные кандидаты: Alpha-Step D-100 (стилусный), MicroXAM – 100(оптический). Интересуют мин. величины Ra и Rz надежно измеряемые этими приборами.

А латеральное какое надо разрешение ?

"Субнанометровый диапазон" - это хочется с точностью до пары атомов что ли?

Порядка 10 микрон.


Да, было бы неплохо.

В общем, подойдут оба. Но лучше MicroXam-100, т.к. измерение будут более экспрессные и по площади. D-100 не имеет 3D опции в принципе. Если бюджет ограничен, D-100 - лучший выбор.

Субнанометровый?
Это шероховатости размером еденицы ангстрем - с один атом?
Смотрите атомносиловой тунельный микроскоп - он такое рисует.
И щупы и оптика - это на сабмикронный диапазон - шероховатости выше микрона.

Вы правы, возможности стилусных и оптических приборов отличаются. Для наших задач более удобны оптические. Вопрос в соотношении цены и качества. Т.к. вышеописанные приборы должны использоваться близко к пределу своих возможностей, продавец рекомендует кучу аксессуаров. Цены на них совсем не бюджетные и гарантий результата нет. Поэтому решили остановиться на “небюджетном”, зато испытанном варианте- Zygo.


Речь шла о приборе, способном измерять высоты слоев атомов относительно друг друга. Рисунки отдельных атомов, в контексте данной задачи, интереса не представляют.

если не критично по времени, то конечно же атомно-силовой микроскоп (не тунельный, который "отдельные атомы рисует"!). Субнанометры обеспечиваются даже в аппаратах среднего ценового диапазона.

Так тунельный микроскоп великолепно рисует ступеньки атомных слоев.
Никакая оптика или щупы такого не делают.
То, что он способен рисовать при этом и отдельные атомы вроде не является недостатком.

Мне кажется вы ошибаетесь . Вот соседняя лаборатория в нашем институте делает НАНОПРОФИЛОМЕТР
Ступеньки атомных слоёв видит.

Интересный аппарат, точнее его характеристики: разрешение по высоте 0.1 нм
где бы почитать о принципе работы, т.к. из названия "интерференционный" все-равно не очень ясно каким образом удается достичь такого разрешения. На сайте, к сожалению, нет ссылок на публикации.

Если это большие плоскости, размером в несколько длин волны и прилично зеркальные, то в принципе можно интерферрометром
такой перепад на пределе поймать. Сдвиг в одну тысячную полосы ловится.
Но зачем, если тунельный работает и по таким и по любым другим профилям.

Вот была статья. Там указаны е-mail авторов. Можете написать письмо Сысоеву, он вроде самый знающий по этой теме.

Спасибо за информацию.

на ссылку аваст злобно кричит на троянов...