Системы контроля качества ИС на полупроводниковых пластинах Опции

[alfatv21]

Здравствуйте. Знает ли кто где можно взять литературу по существующим системам контроля качества ИС . Под системой я имею ввиду всю установку включая ПО . Дело в том что все что находил в поисковике требует сначало заплатить .Подойдет как на русском так и на английском языке . Заранее спасибо.

[monitor7]

Здравствуйте. Знает ли кто где можно взять литературу по существующим системам контроля качества ИС . Под системой я имею ввиду всю установку включая ПО . Дело в том что все что находил в поисковике требует сначало заплатить .Подойдет как на русском так и на английском языке . Заранее спасибо.

Пожалуйста по-детальнее. с уважением.

[alfatv21]

Нужно что то вроде этого http://www.scribd.com/doc/55552855/Automat...nagement-System. Системы которые конкретно занимаются распознованием дефектов на полупроводниковой пластине .