По какой технологии делают фильтры LTCC? Опции

[__Sergey_]

Доброго дня!
Есть множество западных фирм, которые делают множество фильтров LTCC, и не только фильтров, типа таких:
http://194.75.38.69/pdfs/BFCN-7200+.pdf

По какой технологии делают такие изделия?
На многих предприятиях в Росси (даже у нас) есть оборудование LTCC, но технологические нормы там, как я узнавал, кошмарные: 150 микрон зазор-проводник, масочная печать. На таком оборудовании не то что фильтры, просто полоски с заданным импедансом сделать - проблема.
Собственно само название говорит о том, что это просто глина, и ничего точного из нее слепить нельзя. Тем не менее буржуи делают компоненты LTCC явно требующие высокой точности. Как им это удается?
Там еще у минисёкита есть 90-градусные мосты LTCC с октавным диапазоном - то есть им, видимо, удалось мосты Ланге както реализовать.

Сообщение отредактировал __Sergey_ - Apr 22 2015, 16:54

[EUrry]

Так собственно LTCC - это и есть технология (LTCC – Low Temperature Co-fired Ceramics). Удается, наверное, учетом усадки при спекании (естественно при повторяемых свойствах материалов).

[l1l1l1]

...
По какой технологии делают такие изделия?
...

LTCC предусматривает не только трафаретную печать, но и фотолитографию.
мосты Ланге, конечно же, никто по технологии LTCC не делает,
там элементарно реализуется лицевая связь полосков, для которой 3дБ не проблема.
допуски на размеры, в том числе из-за неравномерности усадки, в LTCC конечно больше,
чем в обычной микрополосковой технологии, но LTCC - это объем, это многослойка,
там гораздо шире возможности.
сравните например точность реализации микрополоскового встречно-стержневого конденсатора
и плоского конденсатора в LTCC.
наиболее выигрышная и по точности, и по добротности схематика в LTCC - квазисосредоточенная.

[nikolas]

находил патент/описание на октавные трансформаторы и квадратурные ответвители, постараюсь найти и выложить - там на квазисосредоточеных элементах. В инете попадались рентген снимки LTCC фильтров от миницирквитс.

На лтсс пробовали охлаждение: керамическая плата толщиной 1,2..1,6 мм внтури через штуцер течет жидкость. при ширине канала 2,5*0,6 мм поток жидкости 100...120 мл/мин. прилагаю снимок.
Здорово получаются переходы МПЛ/щелевая линия - получается лучше совмещение переходного отверстия и слоев в сравнении с тонкой пленкой, видно на последнем рисунке - там резонатор возбуждаемый через ЩЛ. В отличие от тонкой пленки проводники получаются "елочкой".

Для трафаретной печати доступны полоски/зазоры в 120..150 мкм, если нужно и 70 мкм можно получить. Для монтажа кристалов то что нужно. теплопроводность можно достичь до 60 Вт/мК,или ставить кристалы в окно платы и герметизировать. При желании можно на LTCC керамику сделать напыление.
По LTCC достаточно просто получаются структуры описаные в "Объемные интегральные схемы СВЧ" Гвоздев Нефедов - особенно интересен модулятор на стр. 205

PS: по слухам в ЛЭТИ разрабатывали и планируют выпуск аналогов фильтров и пасс. элементов от миницирквитс.


Кое что о применении в СВЧ диапазоне здесь www.ltcc.de и во вложении
Если тема интересная то могу выложить подборку материалов по этой керамике на фтп в конце майских праздников.




бонус

Эскизы прикрепленных изображений

 

Прикрепленные файлы

 KERAM.rar ( 6.57 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 26
 1________________________________________________.pdf ( 1.43 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 111
 LTCC___________.pdf ( 1.76 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 201

 

[nikolas]

инфорация о трансформаторах и ответвителях и смесителях есть в патенте № US2014/0097882 A1. оч. похоже на смеситель MCA-12G ф. Mini-Circuits

[Green_Smoke]

Вот здесь статьи авторов из ЛЭТИ по КНТО.

Прикрепленные файлы

 2005_05_190.pdf ( 599.86 килобайт ) Кол-во скачиваний: 919
 2005_06_210.pdf ( 358.28 килобайт ) Кол-во скачиваний: 538
 2005_07_208.pdf ( 331.27 килобайт ) Кол-во скачиваний: 231

 

[eugene1]

Вот здесь статьи авторов из ЛЭТИ по КНТО.

Сомневаюсь что эти деятели что-то могут. Лет десять назад, когда я работал в Авионике-СВЧ мы заказывали им перестраиваемые фильтры на сегнетокерамике. Они что-то пол года пытались, показывали в компьютере, в итоге работающего фильтра мы не увидели, денег тоже не вернули. Зато статьи генерят очень хорошо.

[nikolas]

из статьи ЛЕТИ - переключающая матрица оч. похожа на иностранную http://www.db-thueringen.de/servlets/Deriv...-2015210245.pdf http://www.db-thueringen.de/servlets/Deriv...-2015210230.pdf - видел такую живую пер. матрицу - разрабатывали для системы связи на спутник

в приложении анализ МПЛ на керамике и пример создания модели в CST, моделирование шероховатости

Прикрепленные файлы

 5.4.2.pdf ( 4.45 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 55