Цитата(Александр Ювченко @ Dec 5 2006, 12:15)
Производим напыление ионно-плазменными методами металлических (Al,Cu,Cr,V,Ni,пермаллой) и диэлектрических (SiO2)пленок. Проводим фотолитографию по шаблонам заказчика. Взрывная литография. Химическое травление. Вакуумное травление в плазме Ar или хладона (оксид кремния). Малые серии.
Нанесением упрочняющих и декоративных покрытий не занимаемся.
УР-Р-Р-А!!!
Осталось уточнить только где, кто и почем...
нанесение и фотолитография тонких пленок
Dec 5 2006, 12:15
