Цитата(Artemij14 @ Sep 5 2013, 17:44)
Вопрос к профи данной ветки. Возможно ли заказать изготовление некоторой топологии/рисунка с зазорами 5мкм и минимальной толщиной проводника 20мкм? Процесс не важен, будет это лазерное скрайбирование или литография.
Если правильно понимаю, речь идет о формировании рельефа с так называемым высоким аспектным отношением. При традиционной технологии анизотропного травления тонких слоев (пленок) это врядли получится. Но такие рельефы получают, например, в МЭМС структурах многоэтапным послойным стравливанием с помощью плазмохимических процессов. Детали можно найти в internet.
Топология на поликоре; зазор 5мкм, Вопрос о возможности заказа
Sep 5 2013, 10:44
