Медь и алюминий, металлизация Опции

[BarsMonster]

Терзает меня один лишь вопрос:
почему делают или всю металлизацию алюминием, или всю медью со всем связанным с ней гемором.

Почему не делают только M1-M2 алюминием (чтобы кремний не загрязнять), а дальше - медь безо всяких barrier metals?
Неужели электропроводность меди окруженной SiO2 так сильно падает? Не вполне понимаю физику этого процесса.

[BarsMonster]

В общем отвечу сам: медь, как и другие благородные металлы быстро дифундирует через диэлектрики.
Так что отсутствие меди в М1 не решает этой проблемы.

А раз уж начали использовать медь с барьерами - нет причины не использовать её и на нижних уровнях, дешевле чистым алюминием уже бы не получилось.

[EUrry]

В общем отвечу сам: медь, как и другие благородные металлы быстро дифундирует через диэлектрики.
Так что отсутствие меди в М1 не решает этой проблемы.

А раз уж начали использовать медь с барьерами - нет причины не использовать её и на нижних уровнях, дешевле чистым алюминием уже бы не получилось.

Давно ли медь облагородилась? И давно ли просто медь стала дешевле алюминия? Или тут уже учитывается стоимость технологии формирования и всё меняется?

[BarsMonster]

Давно ли медь облагородилась? И давно ли просто медь стала дешевле алюминия? Или тут уже учитывается стоимость технологии формирования и всё меняется?

In physics, the definition of a noble metal is even more strict. It is required that the d-bands of the electronic structure are filled. Taking this into account, only copper, silver and gold are noble metals, as all d-like bands are filled and do not cross the Fermi level

О цене я говорю, что иметь 2 набора оборудования: 1 для алюминия одно для меди не дешевле чем делать все медью на одном железе.