Гуглите ccd direct electron bombardment (DEB). Существуют, но достаточно нетипичны и дороги. Еще от энергии электронов сильно зависит срок жизни. Используются перимущественно back thinned CCD- т.е экспозиция происходит не скозь структуру электродов, а со стороны подложки через утонченный кремний.
|