Медь и алюминий, металлизация Опции

[BarsMonster]

Терзает меня один лишь вопрос:
почему делают или всю металлизацию алюминием, или всю медью со всем связанным с ней гемором.

Почему не делают только M1-M2 алюминием (чтобы кремний не загрязнять), а дальше - медь безо всяких barrier metals?
Неужели электропроводность меди окруженной SiO2 так сильно падает? Не вполне понимаю физику этого процесса.

[nikolascha]

А откуда информация, что делают металлизацию либо всю алюминием, либо всю медью?

По поводу установки, то в принципе установка напыления поддерживает сразу несколько материалов, т.к. даже алюминий делают с подслоем из какого-нибудь нитрида титана, думаю их напыляют сразу один за другим. Другое дело, что медь "загадит" установку, что потом от неё сложно будет избавиться, поэтому, думаю, всё же для осаждения меди отдельная установка требуется...

[urrik16]

По-моему, дело в коэффициенте теплового расширения - у алюминия он в 1.4 раза больше, чем у меди. А значит возникнет проблема с межслойными переходами между медным и алюминиевым слоями, которые (межслойные переходы) при нагревании-охлаждении начнут деформироваться.