техника может, например, следущее:
http://www.prist.ru/produces/pdf/rlc/6520,6530,6540.pdfРазрешающие способности:
R: 10 мкОм
C: 1 фФ
L: 0,1 нГн
стоимость ни в какие ворота не лезет.
Есть готовые чипы для работы с датчиками перемещений, например, ad7745 с разрешением 4aF (даже не понял сколько это), но всё это вещи низкочастотные (сотни герц) + зависимоть точности от шунтирующей проводимости.
Мне удавалось в "домашних" условиях на параллельном LC-контуре на 8 МГц методом компенсации внесённой ёмкости (по сдвигу фазы варикапом) определить С с точностью до 0,5 пФ при шунтировании проводимостями 100 мкСм - 10 мСм.
Проблема измерить всё это в полосе частот, скажем, от 1 Гц до ...... 100 МГц! Мда...