To Миша
Wayne Kerr Electronics c Базовая погрешность 0,05% как то не очень (IMHO) подходит для прецизионных измерений емкости, и соответственно всех других физических величин измеряемых емкостными датчиками. В западных лабораториях для подобных измерений используется в основном AH 2700A или AH 2550A
http://www.andeen-hagerling.com/с Accuracy порядка 10 ppm.
Цена порядка 10 kEuro за AH 2550A
To Stanislav
К сожалению MEMS датчики имеют достаточно ограниченный температурный диапазон. Поэтому (пока) не удается их достаточно активно использовать в различных приложениях, где температура может быть существенно ниже комнатной (жидкий азот или гелий).