Акселерометр, что внутри? - Форум разработчиков электроники ELECTRONIX.ru

Wiki

Photo

Forum

Reviews

Help (!)

Акселерометр, что внутри?, Интересует материал...

alexPec Просмотр профиля	Oct 12 2012, 14:43 Сообщение #1
Профессионал Группа: Свой Сообщений: 1 284 Регистрация: 9-04-06 Пользователь №: 15 968	Всем доброго дня! Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено?

Ответов

ilya-m Просмотр профиля	Oct 12 2012, 15:07 Сообщение #2
Частый гость Группа: Свой Сообщений: 165 Регистрация: 30-06-08 Из: С.-Петербург Пользователь №: 38 642	Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf

alexPec Просмотр профиля	Oct 13 2012, 10:17 Сообщение #3
Профессионал Группа: Свой Сообщений: 1 284 Регистрация: 9-04-06 Пользователь №: 15 968	Цитата(ilya-m @ Oct 12 2012, 19:07) Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf Не говорят там из чего сделано...

ilya-m Просмотр профиля	Oct 13 2012, 10:53 Сообщение #4
Частый гость Группа: Свой Сообщений: 165 Регистрация: 30-06-08 Из: С.-Петербург Пользователь №: 38 642	Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.

Myron Просмотр профиля	Oct 13 2012, 16:08 Сообщение #5
Профессионал Группа: Свой Сообщений: 1 849 Регистрация: 6-02-05 Пользователь №: 2 451	Цитата(ilya-m @ Oct 13 2012, 04:53) Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе. Также используются изгибные деформации.

Сообщений в этой теме

alexPec Акселерометр, что внутри? Oct 12 2012, 14:43

ilya-m Можете посмотреть в презентации от ST - http://www... Oct 12 2012, 15:07

alexPec Цитата(ilya-m @ Oct 12 2012, 19:07) ... Oct 13 2012, 10:17

ilya-m Чувствительная система акселерометра предаставляет... Oct 13 2012, 10:53

Myron Цитата(ilya-m @ Oct 13 2012, 04:53) ... Oct 13 2012, 16:08

alexPec Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS)... Oct 13 2012, 17:02

Tanya Цитата(alexPec @ Oct 13 2012, 21:02) Если... Oct 13 2012, 18:09

proxi бывает датчик на кварце, Доплера эффект однако Oct 13 2012, 11:42

@Ark Цитата(alexPec @ Oct 13 2012, 21:02) Вооб... Oct 13 2012, 19:07

alexPec Цитата(@Ark @ Oct 13 2012, 23:07) то, при... Oct 14 2012, 08:37

alexvu При движении практически любого датчика в сильном ... Oct 15 2012, 14:05

@Ark Цитата(alexvu @ Oct 15 2012, 18:05) При д... Oct 15 2012, 16:24

alexvu Я имел в виду аналоговые цепи внутри датчика. А пр... Oct 16 2012, 08:09

@Ark Цитата(alexvu @ Oct 16 2012, 12:09) А про... Oct 16 2012, 08:18

Tanya Цитата(alexvu @ Oct 16 2012, 12:09) Я име... Oct 17 2012, 03:36

proxi http://www.alibaba.com/product-gs/64109058...elero... Oct 16 2012, 21:01

alexvu Понятное дело, это я как раз к тому, что поле влия... Oct 17 2012, 10:48

Tanya Цитата(alexvu @ Oct 17 2012, 14:48) Понят... Oct 17 2012, 11:07

1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)

Пользователей: 0

Режим отображения: Переключить на: Стандартный · Переключить на: Линейный · Древовидный

Сейчас: 25th July 2025 - 17:06