Цитата(ilya-m @ Oct 13 2012, 04:53)

Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.
Также используются изгибные деформации.