Акселерометр, что внутри?, Интересует материал... Опции

[alexPec]

Всем доброго дня!
Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено?

[ilya-m]

Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf

[alexPec]

Можете посмотреть в презентации от ST - http://www.compel.ru/wordpress/wp-content/...012/04/MEMS.pdf

Не говорят там из чего сделано...

[ilya-m]

Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.

[Myron]

Чувствительная система акселерометра предаставляет собой конденсатор, однин набор обкладок у которого неподвижный, а другой набор - подвижный. Вся система изготавливается на кремниевой пластине травлением. Цифровая часть изготавливается на другой пластине. Затем чувсвительный элемент и цифровая часть объединяются в одну сборку в общем корпусе.

Также используются изгибные деформации.

[alexPec]

Вообще, почему спрашиваю, как акселерометры (MEMS) будут работать в условиях сильных магнитных и/или электрических полей? Никто не сталкивался с этим? Если кремний, то наверно будет реагировать на магнитное поле плюсом к ускорению? И вообще, MEMS - системы внутри датчика экранированы? И чем: диа- пара- магнетиками или ферромагнетиками или и тем и другим, или ничем? Вобщем, есть сомнения по поводу корректности работы датчика в магнитном поле... Если кто может, подтвердите или опровергните пожалуйста.