Всем доброго дня! Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено?
Группа: Свой
Сообщений: 1 172
Регистрация: 14-11-11
Из: Москва
Пользователь №: 68 299
При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции. Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля.
Акселерометр, что внутри?, Интересует материал...
Oct 12 2012, 14:43
