Акселерометр, что внутри?, Интересует материал... Опции

[alexPec]

Всем доброго дня!
Возник такой вопрос, а из какого материала у MEMS-акселерометров изготовлена сама инертная масса? Кремний? И подвес и емкостные датчики - все на одной пластине вытравлено?

[alexvu]

При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции.
Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля.

[Guest_@Ark_*]

При движении практически любого датчика в сильном маг. поле будут искажения, т.к. на аналоговые цепи датчика будет наводиться ЭДС индукции.
Отличить это можно так: искажения из-за магнитного материала пропорциональны напряженности поля, а индукция проп. скорости изменения поля.

В моем примере внешние аналоговые цепи были минимальны. Аналоговые выходы трехосевого акселеромера были заведены непосредственно на входы АЦП МК. Длина дорожек - где-то 5-10мм. Результат измерения передавался уже в цифре. Сам датчик, вместе с обвеской, был заключен в герметичный алюминиевый корпус с толщиной стенки где-то 3-4мм. Наружу выходили только питание и RS485. Но самое главное, если бы были существенные наводки на аналоговые цепи, то искажались бы все три значения ускорений. А так наблюдалось искажение только по одной из осей - перпендикулярно направлению линий магнитного поля и направлению движения датчика (с постоянной скоростью) - в полном соответствии с правилом правой руки.