Нужно скорректировать частоту таймера, очень аккуратно Опции

[Alexashka]

Добрый день.
Задача такая: есть у меня платка оцифровщика, основные узлы -процессор ARM9 (at91sam9g45) и внешний АЦП. Процессор с помощью своего таймера генерирует тактовый сигнал, которым запускаются преобразования в АЦП. Частота импульсов таймера = 100,1кГц получается делением половинной частоты системного клока (133,333МГц/2) на 666
Однако заказчику хотелось бы иметь частоту дискретизации ровно 100кГц.
Алгоритм работы с АЦП такой, таймер молотит положительные импульсы на выходной пин, который запускает АЦП, одновременно с этим генерируется прерывание, по которому я вычитываю АЦП. Что тут можно придумать, чтобы уменьшить частоту на 0,1%?
Пробовал добавить в прерывании задержку - переключал тактирование таймера на источник (133,333МГц/8), затем пару nop'ов и обратно на (133,333МГц/2) -в результате получил 100,00кГц частоту, по частотомеру - вполне устойчивую. Но потом при рассмотрении спектра синуса, записанного с АЦП увидел жуткий подъем вблизи палки синуса и отношение сигнал/(шум+гармоники) был около 40дб. Для сравнения - в спектре этого же синуса, записанного с частотой АЦП 100,1 (без коррекции частоты таймера) палка синуса четкая на фоне шума, без подъема, и отношение сигнал/(шум+гармоники) около 80дБ.
Выходит, что задержка, которую я реализовал вносит значительный джиттер?
У кого какие соображения? Как можно скорректировать частоту не добавляя джиттер в тактовый сигнал?