По какой технологии делают фильтры LTCC? Опции

[__Sergey_]

Доброго дня!
Есть множество западных фирм, которые делают множество фильтров LTCC, и не только фильтров, типа таких:
http://194.75.38.69/pdfs/BFCN-7200+.pdf

По какой технологии делают такие изделия?
На многих предприятиях в Росси (даже у нас) есть оборудование LTCC, но технологические нормы там, как я узнавал, кошмарные: 150 микрон зазор-проводник, масочная печать. На таком оборудовании не то что фильтры, просто полоски с заданным импедансом сделать - проблема.
Собственно само название говорит о том, что это просто глина, и ничего точного из нее слепить нельзя. Тем не менее буржуи делают компоненты LTCC явно требующие высокой точности. Как им это удается?
Там еще у минисёкита есть 90-градусные мосты LTCC с октавным диапазоном - то есть им, видимо, удалось мосты Ланге както реализовать.

Сообщение отредактировал __Sergey_ - Apr 22 2015, 16:54

[nikolas]

находил патент/описание на октавные трансформаторы и квадратурные ответвители, постараюсь найти и выложить - там на квазисосредоточеных элементах. В инете попадались рентген снимки LTCC фильтров от миницирквитс.

На лтсс пробовали охлаждение: керамическая плата толщиной 1,2..1,6 мм внтури через штуцер течет жидкость. при ширине канала 2,5*0,6 мм поток жидкости 100...120 мл/мин. прилагаю снимок.
Здорово получаются переходы МПЛ/щелевая линия - получается лучше совмещение переходного отверстия и слоев в сравнении с тонкой пленкой, видно на последнем рисунке - там резонатор возбуждаемый через ЩЛ. В отличие от тонкой пленки проводники получаются "елочкой".

Для трафаретной печати доступны полоски/зазоры в 120..150 мкм, если нужно и 70 мкм можно получить. Для монтажа кристалов то что нужно. теплопроводность можно достичь до 60 Вт/мК,или ставить кристалы в окно платы и герметизировать. При желании можно на LTCC керамику сделать напыление.
По LTCC достаточно просто получаются структуры описаные в "Объемные интегральные схемы СВЧ" Гвоздев Нефедов - особенно интересен модулятор на стр. 205

PS: по слухам в ЛЭТИ разрабатывали и планируют выпуск аналогов фильтров и пасс. элементов от миницирквитс.


Кое что о применении в СВЧ диапазоне здесь www.ltcc.de и во вложении
Если тема интересная то могу выложить подборку материалов по этой керамике на фтп в конце майских праздников.




бонус

Эскизы прикрепленных изображений

 

Прикрепленные файлы

 KERAM.rar ( 6.57 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 26
 1________________________________________________.pdf ( 1.43 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 111
 LTCC___________.pdf ( 1.76 мегабайт ) Кол-во скачиваний: 201