Посоветуйте литературу по проектированию ИС Опции

[PiuPiuBam]

Здравствуйте.
Думаю такая тема уже была, но я её не нашёл (может её закрепить стоит?).

Итак, я хотел бы поближе познакомиться с технологией проектирования ИС. Недавно прочёл книгу "Интегральные микросхемы и основы их проектирования", авторы Николаев и Филинюк - книга хорошая но она 1992 года, 20 лет всё-таки прошло. Есть ли ещё хорошие книги о технологиях и процессах, лежащих в основе работы ИС?

P. S.: Кое-какую литературу можно найти, но она, в основном, о EDA или о глобальных проблемах этой отрасли.
P.P.S: Английский знаю, поэтому англоязычные книги не проблема.

[x736C]

Добрый день!

Посоветуйте, пожалуйста, литературу, в которой описывался бы процесс производства литографических масок и особенности применения (совмещение и т.п.).
Можно что-то древнее.
Перерыл множество книг, в поисковике ничего не нашел. Все книги о проектировании и производстве выглядят примерно так:
How semiconductor chips are made
То есть сама литография где-то в стороне, как само собой разумеющееся.

Пока искал, нашел забавный документ -- оплаченное DARPA исследование процесса изготовления фотошаблонов с помощью офисного принтера.
Prototyping of Masks, Masters, and Stamps/Molds for Soft Lithography Using an Office Printer and Photographic Reduction

[K0nstantin]

Добрый день!

Посоветуйте, пожалуйста, литературу, в которой описывался бы процесс производства литографических масок и особенности применения (совмещение и т.п.).
Можно что-то древнее.
Перерыл множество книг, в поисковике ничего не нашел. Все книги о проектировании и производстве выглядят примерно так:
How semiconductor chips are made
То есть сама литография где-то в стороне, как само собой разумеющееся.

Пока искал, нашел забавный документ -- оплаченное DARPA исследование процесса изготовления фотошаблонов с помощью офисного принтера.
Prototyping of Masks, Masters, and Stamps/Molds for Soft Lithography Using an Office Printer and Photographic Reduction

Технология СБИС, С.Зи. Книга 1, 1986г. Целый раздел по литографическим методам, немного есть про физику операций.
Технология полупроводниковых приборов и изделий. Книга 8. Литографические процессы, В.В. Мартынов 1990. Целая книжка по данному вопросу. Но её не довелось прочитать.
По оборудованию могу посоветовать Ю.В. Панфилов Оборудование производства ИМС и промышленные роботы, 1988г.

Все книги, как видно, к сожалению, 25+ летней давности. Но вопросы актуальны и сегодня.