3 микрона от чего ? если от 100 микрон - одно, если от метра - совсем другое.
Если все перемещение - микроны, можно кантилевер от AFM взять, по бумаге он долго проживет. Или пьезодатчик с разгрузкой.
--------------------
Не бойтесь тюрьмы, не бойтесь сумы, не бойтесь мора и глада, а бойтесь единственно только того, кто скажет - "Я знаю как надо". А. Галич.
|