CIF формат и лазерный степпер, Вопросы чайника Опции

[khach]

Добрый день.
Срочно понадобилось просветится по вопросам использования лазерного степпера (прямая запись на фоторезист лазерным лучем). Как следует из документации входные файлы должны быть в формате CIF (Caltech Intermediate Format). Описание вроде нашел, там все просто. Но редактор этого формата, который шел в комплекте со степпером, извините, ниже плинтуса по своим пользовательским качествам. Что можете посоветовать в качестве софта для подготовки литографии? Сразу скажу, это не кремний с его нанометрами- материалы и технологии совсем другие.
И второй вопрос- в начале и конце вектора степпер пересвечивает фоторезист (получается жирная точка). Можно ли задать время от начала движения луча до включения лазера в файле CIF?