Цитата
...как только ставлю галочку М161С(выключаю совместимость)...
Посмотрите на скриншоте в нижней части окошка: checked items means programmed (bit=0).
Всё правильно. Поставив галочку, вы программируете бит совместимости. Такая вот небольшая путаница у AVR с фьюзами...