Возможно, эта схема вам подойдет.
Пластина-сенсор располагается параллельно плоскости деформирующейся пластины, так чтобы при максимальной деформации пластины не соприкасались.
В качестве неподвижной пластины-сенсора удобно использовать фольгированный материал, на одном из участков которого можно собрать схему датчика.