для вакуума лучше всего подходят пьезоелектрические моторы/актуаторы. цена сильно зависит от параметров

врядли подойдёт в данном случае, да и топику уже год, но... может кому пригодится.
у этих товарищей
http://www.pcbmotor.com/ есть пьезо елементы, можно самому мотор собрать