Цитата(dvladim)
На оптических микроскопах получить лучше 0.5um проблематично.
На тех фотографиях, которые я видел - проблема не в микроскопе, а в плохом травлении... 0,35 когда еще не снята пассивация - прекрасно смотрится (да и 0,18 различимо), правда ещё с глубиной фокуса проблемы, получается либо верхний металл в фокусе, либо его контакты - хоть делай два фото на слой...