Как калибровать synopsys TCAD 10 под заданный техпроцесс. Опции

[baumanets]

Собственно меня интересует как калибровать synopsys TCAD под заданный техпроцесс, и какие данные необходимо снимать с установок диффузии, ионного легирования, термического отжига и т.д.
(Установки ещё с советских времён.)

[KriegerNsk]

я делаю как...беру технологическую карту нужной операции, например разгонка р-кармана, делаю последовательно операции загрузки, нагрева, окисления, перераспределения примеси, по заданным в карте временам и температурам, и проверяю контролируемые параметры, как правило это толщина окисла, если есть окисление, Rs, и глубина p-n - перехода. если все это попало в "ворота" то дальше в любом маршруте где есть эта операция - копи-паст и все. Если какой то из параметров не попадает в нормы, то начинаются танцы с бубном, а именно меняю среду, парциальные давления газовой смеси, или потоки газов, если не хватает толщины окисла то добавляю воду. Вот как то так я подгоняю TCAD под советские установки)

Сообщение отредактировал KriegerNsk - Aug 22 2010, 12:54