Обманул чуток, не CARRY использовал, а CASCADE. Первых требовалось слишком много (малую задержку дают), а вторых хватало.
Код
Dly0 = Clk & TimPls;
for i in 1 to MeasWid-1 generate
Dly[i] = cascade(Dly[i-1]) & Busy;
end generate;
Hold[].clk = global(TrigLck);
Hold[].ena = TrigEna;
Hold[].d = Dly[];
И неравномерность (нелинейность) кода была, когда из одного LAB в другой переходили сигналы.