Вопрос действительно странный.
http://hft.uni-duisburg-essen.de/forschung...dAttenuator.pdf - ну вот до 15ГиГ. На частоте выше 1ГГц бОльшую роль уже играют переходные на землю. Причем, пи-аттенюатор со всех сторон ИМХО выходнее. При копланаре резисторы на землю можно разбить на два удвоенного номинала, как на Рис.7, последовательный - тоже два удвоенного номинала, если уж действительно интересуют очень высокие частоты, резистивным слоем вниз - паразитная индуктивность меньше - или ставить покупные готовые аттенюаторы. В любом случае стараться габарит аттенюатора сделать покороче, не больше лямбда на 16.