Цитата(SNGNL @ Jan 11 2011, 21:41)

Собственно сама задача в заголовке темы. Возможные кандидаты: Alpha-Step D-100 (стилусный), MicroXAM – 100(оптический). Интересуют мин. величины Ra и Rz надежно измеряемые этими приборами.
Субнанометровый?
Это шероховатости размером еденицы ангстрем - с один атом?
Смотрите атомносиловой тунельный микроскоп - он такое рисует.
И щупы и оптика - это на сабмикронный диапазон - шероховатости выше микрона.