Как калибровать synopsys TCAD 10 под заданный техпроцесс. Опции

[baumanets]

Собственно меня интересует как калибровать synopsys TCAD под заданный техпроцесс, и какие данные необходимо снимать с установок диффузии, ионного легирования, термического отжига и т.д.
(Установки ещё с советских времён.)

[KriegerNsk]

по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения

[baumanets]

по всей видимости из нас троих никто этого не делал=))) можно попытаться по обсуждать конкретные параметры и их значения

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

[parex]

Хотел бы сначала узнать где в России, Белоруссии, можно снять профиль легирования примеси в пластине, насколько подробно? И сколько это будет стоить?

По CV на FATFET например можно профиль получить.