Цитата(BarsMonster @ Aug 31 2011, 11:41)

Ну не знаю, экскурсии котории я видел по местным заводам - все операции похоже на воздухе.
Не видел даже, чтобы было где нанести фоторезист без доступа воздуха.
Я что-то упустил?
Фоторезист в вакууме не нанесёшь, т.к., думаю, он испарится быстро. Но ионное легирование - в вакууме, диффузия в инертной среде (правда есть с окислением поверхности при разгонке примеси, чтобы не испарялась с поверхности, если не ошибаюсь), жидкое травление в обычных, а вот плазмохимия тоже в разреженной среде делается, и напыление металла тоже в вакууме... что-там ещё осталось?