реклама на сайте
подробности

 
 
> Медь и алюминий, металлизация
BarsMonster
сообщение Nov 16 2011, 17:24
Сообщение #1


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849



Терзает меня один лишь вопрос:
почему делают или всю металлизацию алюминием, или всю медью со всем связанным с ней гемором.

Почему не делают только M1-M2 алюминием (чтобы кремний не загрязнять), а дальше - медь безо всяких barrier metals?
Неужели электропроводность меди окруженной SiO2 так сильно падает? Не вполне понимаю физику этого процесса.


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post
 
Start new topic
Ответов
EUrry
сообщение Nov 16 2011, 18:08
Сообщение #2


Гуру
******

Группа: Свой
Сообщений: 3 218
Регистрация: 14-11-06
Из: Н. Новгород
Пользователь №: 22 312



Медь сильно гадит параметры кремния, например, подвижность носителей заряда.


--------------------
Все не могут только сеять разумное, доброе, вечное: кому-то надо и пахать!
Природа не терпит пустоты: там, где люди не знают правды, они заполняют пробелы домыслом. © Бернард Шоу
Go to the top of the page
 
+Quote Post
BarsMonster
сообщение Nov 16 2011, 18:47
Сообщение #3


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 479
Регистрация: 8-03-10
Из: Россия, Москва
Пользователь №: 55 849



Цитата(EUrry @ Nov 16 2011, 20:08) *
Медь сильно гадит параметры кремния, например, подвижность носителей заряда.


Да, это понятно, и понятно почему оно так.
Потому я и предлагаю оставить M1 и M2 алюминием (или вольфрамом как это иногда делают).


--------------------
Потроха микросхем: zeptobars.ru
Go to the top of the page
 
+Quote Post
Jurenja
сообщение Nov 17 2011, 10:53
Сообщение #4


Местный
***

Группа: Свой
Сообщений: 457
Регистрация: 7-06-07
Из: Минск
Пользователь №: 28 262



Цитата(BarsMonster @ Nov 16 2011, 21:47) *
... предлагаю оставить M1 и M2 алюминием (или вольфрамом как это иногда делают).
Не представляю себе как такое будет говорить частное лицо или даже небольшая фирма в адрес крупной полупроводниковой фабрики.
Заметит ли слон муху?...


--------------------
Человек учится говорить два года, а молчать - всю жизнь
Go to the top of the page
 
+Quote Post



Reply to this topicStart new topic
1 чел. читают эту тему (гостей: 1, скрытых пользователей: 0)
Пользователей: 0

 


RSS Текстовая версия Сейчас: 22nd June 2025 - 11:40
Рейтинг@Mail.ru


Страница сгенерированна за 0.01399 секунд с 7
ELECTRONIX ©2004-2016