Проявители фоторезиста и загрязнение мобильными ионами Опции

[BarsMonster]

Вынесу вопрос в отдельный топик:

Я правильно понимаю, что проявители для фоторезистов - основной источник загрязнения кремния мобильными ионами (натрий/калий), но на производстве об этом не переживают, а просто хлором/соляной кислотой/трихлорэтиленом связывают?

Начиная с какой ноды начинают использовать неметаллические проявители (на основе TMAH)?
Я правильно понимаю, что его не используют везде из-за его высокой цены?