магнетрон Опции

[Unserv]

Здравствуйте!
По работе искал в интернете производителей и материалы для напыления на полупроводниковые подложки.
Увидел оборудование , описывают как-вращающиеся магнетроны.
Может кто то знает что это или применяет?
В конце существования Сов. Союза имел дело с клистронами и магнетронами на
радиолокационной технике-РЛС и высотомеры. Интересно как сейчас производят охлаждение ,токосъем итд.
Если не по теме -извините.