Разработка оптоэлектронного устройства. Опции

[DS]

Древние руками контролировали. Сейчас поэтому здесь проблемы со сложным напылением. Давно уже есть оборудование для контроля толщины пленок, а наши "по древнему" косвенным методом контролируют - по времени, по цвету.

Для такой толщины, видимо только по времени можно контролировать.

Но интерференция будет подавлена только в узком спектральном диапазоне. Хотя, если Вы лазером светите, можно подогнать под конкретную частоту.

А вообще - спасибо, что обратили внимание. У самого есть проблемы с интерференцией. Мы правда исключительно Hamamatsu пользуемся. Но надо проверить коэффициент отражения от лямбда.

[khach]

Древние руками контролировали. Сейчас поэтому здесь проблемы со сложным напылением. Давно уже есть оборудование для контроля толщины пленок, а наши "по древнему" косвенным методом контролируют - по времени, по цвету.

Для такой толщины, видимо только по времени можно контролировать.

Но интерференция будет подавлена только в узком спектральном диапазоне. Хотя, если Вы лазером светите, можно подогнать под конкретную частоту.

А вообще - спасибо, что обратили внимание. У самого есть проблемы с интерференцией. Мы правда исключительно Hamamatsu пользуемся. Но надо проверить коэффициент отражения от лямбда.

Так, все смешалось в доме Облонских (с). Мне не просветляющее покрытие растить надо, это худо-бедно умеем, и не толщину эпитаксиального слоя при росте мерять (будете смеятся, но видел на MBE машине для контроля толщины стоит китайская лазерная указка и фотодиод от дистанционки, хотя детектируется серьезным Lock-inом) и толщина исключительно по времени, конечно после калибровки источников на толстых пленках. два -три атомных слоя ловятся спокойно. Так что ненадо на древних наезжать. :-)
Мне надо сравнительно равномерное травление кремния, с контролем вскрытия изолирующих карманов. Это элементарно видно на поляризационном микроскопе, но для этого надо вынимать CCD из травилки. Вот думаю, можно ли травить включенную ССД и на-ходу смотреть за фоточувствительностью обратной стороны?
По поводу интерференций во front-illuminated ССД- Вы видели волны на спектральной характеристике? так вот, поставьте ССД на спектрофотометр с другим фокусным расстоянием и волны будут в других местах по спектру, т.к углы падения поменяются. А у back-thinned этого нет, т.к слой кремния толстый, и обычно ничем непокрыт (AR на ультрафиолет- отдельная тема). Ну и рост QE в два раза- на слабых сигналах я могу получить на двухкаскадном пельтье с back-thinned то же самое, что с front-illuminated в криостате при охлаждении жидким азотом при экспозиции в два-три раза дольше.
Плазменное травление неподойдет- 150-200 мкм травить- это слишком долго и неравномерно получится.

[DS]

Да у меня ситуация хуже, сигнал широкополосный, от 1000 до 300 нм и когерентный. Вы мне просто напомнили, что считать надо не только от стекла, но и от кремния. Нас и back-thinned не особо спасает, надо дополнительную оптику в спектрометр делать. А продукт серийный.

А что за бугром есть еще такие места, где дешевле самому вскрывать - травить - ставить обратно в корпус, чем купить готовую ? У нас это уже нерентабельно. Если, конечно, Вы не конкурент Hamamatsu .

[khach]

А что за бугром есть еще такие места, где дешевле самому вскрывать - травить - ставить обратно в корпус, чем купить готовую ? У нас это уже нерентабельно. Если, конечно, Вы не конкурент Hamamatsu .

Бывает, что копеечная вебкамера удобнее килобаксового прибора. Вот если бы они еще и черно-белые были (по такой цене). А смывка цветного фильтра - занятие не намного менее хлопотное, чем отдирание матрицы. Эти пляски с бубном оправданны, когда существует большой риск уничтожить сенсор в процессе использования, или для макетирования, или фирменный по габаритам невлазит, или разрешение нужно многомегапиксельное. Не секрет, что научное приборостроение сейчас часто отстает от ширпотребовского. И выдирание 8 мегапиксельной матрицы из фотоаппарата или линейка от сканера в спектрометре- достаточно распространенное явление.

[nikdva]

back-side ccd обычно применяют для регистрации глубокого ультрафиолета и электронов.
Лет 20 назад этим занимались в НПО "Электрон" (Питер).
Сейчас вроде этим перестали заниматься

[DS]

Бывает, что копеечная вебкамера удобнее килобаксового прибора. Вот если бы они еще и черно-белые были (по такой цене). А смывка цветного фильтра - занятие не намного менее хлопотное, чем отдирание матрицы. Эти пляски с бубном оправданны, когда существует большой риск уничтожить сенсор в процессе использования, или для макетирования, или фирменный по габаритам невлазит, или разрешение нужно многомегапиксельное. Не секрет, что научное приборостроение сейчас часто отстает от ширпотребовского. И выдирание 8 мегапиксельной матрицы из фотоаппарата или линейка от сканера в спектрометре- достаточно распространенное явление.

Посмотрел Hamamatsoвскую доку на back-thinned - там еще есть activation layer, создающий пространственный заряд, так что просто травлением это не сделать.