Цитата(Pat @ Jun 21 2018, 07:04)
Просто интересно
А при помощи чего снимают топологию, еще интересно чем растворяют?
Добавлю в меру своего понимания.
Михаил (Barsmonster) конечно известный молодец.
Но он в основном снимает или общие флорпланы или если крупно то достаточно старые грубые нормы.
Слои послойно он вероятно удаляет хим травлением, а при этом тяжело сохранить хорошую планаризацию.
Потом фотографирует он оптикой а для низких норм (особенно слой затворов) не хватает глубины резкости на оптике.
А возможность реверсинга схемы в первую очередь определяется качеством фотографий.
Для этого послойно слои удаляют химико-механической полировкой (Chemical mechanical polishing, CMP) типа такой же как на реальных кремниевых производствах, только там полируют целые пластины а тут нужно отдельный чип.
А низкие нормы фотографируют вероятно в ультрафиолете (меньше длинна волны меньше искажений, также в фотолитографии уходят в глубокий ультрафиолет cо снижением норм.) или даже РЭМ (Scanning Electron Microscope, SEM)
Там фортки черно-белые.
Совершенно случайно яндекс нашел некий отчет МИЭТ (Отчет за 2006-2007 гг.) www.mocnit.miet.ru/por-iop/portal/index.html
www.mocnit.miet.ru/por-iop/ir/o2007_15.pdf
Там на страницах 140-141 приведен список того что используется в специальной лаборатории МИЭТ.
(Sanguine это как раз та китайская фирма которую скупили канадцы)
На всякий случай приложу, а то вдруг потеряется
- система декорпусирования NSC PS102W фирмы Nippon Scientific Co., Ltd;
- настольная система сухого ионного травления RIE-1C фирмы SAMCO, Inc.;
- система химико-механического шлифования/полирования MultiPrep™ System фирмы Allied High Tech Products, Inc.;
- наблюдательный микроскоп ECLIPSE L150 фирмы Nikon;
- устройство для получения цифровых снимков через микроскоп INM100 UV фирмы Leica Microsystems GmbH;
- высокоточная моторизированная система позиционирования Prior Proscan H105 фирмы Prior Scientific Instruments Limited;
- CCD Камера для съемки в видимом спектре Pixera Pro 150ES фирмы Pixera Corporation;
- CCD Камера для съемки в ультрафиолетовом спектре Hamamatsu C8484-16C фирмы Hamamatsu Photonics K.K.;
- FIB (Focused Ion Beam) FEI 200 фирмы FEI Company;
- система управления фотографированием Sanguine AutoPhotograph фирмы Sanguine;
- ПО для выравнивания и сборки фотографий Sanguine Photomatch фирмы Sanguine;
- ПО для восстановления топологии и схемы по снимкам слоев СБИС Sanguine Matrix Analyzer фирмы Sanguine;
- растровый электронный микроскоп с вольфрамовым катодом фирмы FEI Company.