Источник электропитания магнетронного распылителя на 6кВт Опции

[Mothg]

Вот решил собрать источник питания для такой штуки и столкнулся с проблемой не хватки описания такой нагрузки как магнетрон. Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.
Напряжение на нагрузке максимальное;
Мощность нагрузки;
Описание нескольких режимов:
Режим тренировки магнетрона
Режим постоянного тока магнетрона
Режим импульсного (даны частоты)
Режим дугогашения (время сняния напряжения)
Режим поджига
Еще пара статей где приводится вольт-амперная характеристика при определенных условиях (опред. материал мишени, опред. газ)

Но ничего не сказано о динамике и параметров импульсов, нет ничего конкретного по каждому режиму работы.. Я понимаю что вопрос очень специфический, но все же решил закинуть удочку вдруг кто попадется.

[Burner]

Я-то не имею опыта, но вот тебе пара соображений.. Источник наверняка положено делать с токоограничением, подобно сварочнику. Подозреваю, фронты там не очень критичны. Каких 100 мкс-пара милисекунд. Как это сделать на киловольтах, положенных магнетрону - не знаю. Мож., структура "чоппер-резонансный двухтактник", как в источнике подсветки ЛСД монитора.

[Mothg]

Я-то не имею опыта, но вот тебе пара соображений.. Источник наверняка положено делать с токоограничением, подобно сварочнику. Подозреваю, фронты там не очень критичны. Каких 100 мкс-пара милисекунд. Как это сделать на киловольтах, положенных магнетрону - не знаю. Мож., структура "чоппер-резонансный двухтактник", как в источнике подсветки ЛСД монитора.

С силовой схемой то проблем нет. Опыта разработки у меня хватает.
Участвовал в проекте где нужно было формировать 35кВ в наносекундном диапазоне (сотни нс)

А откуда соображения по фронтам? Или это просто догадки?

[Burner]

Просто догадка. В микроволновой печке идут импульсы тока единицы милисекунд. Да и импульс скорее всего для прогрева чего-нить. А мгновенно оно вряд ли прогреется.

[SmartRed]

Вот решил собрать источник питания для такой штуки и столкнулся с проблемой не хватки описания такой нагрузки как магнетрон. Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.
Напряжение на нагрузке максимальное;
Мощность нагрузки;
Описание нескольких режимов:
Режим тренировки магнетрона
Режим постоянного тока магнетрона
Режим импульсного (даны частоты)
Режим дугогашения (время сняния напряжения)
Режим поджига
Еще пара статей где приводится вольт-амперная характеристика при определенных условиях (опред. материал мишени, опред. газ)

Но ничего не сказано о динамике и параметров импульсов, нет ничего конкретного по каждому режиму работы.. Я понимаю что вопрос очень специфический, но все же решил закинуть удочку вдруг кто попадется.

Вы доку на конкретные магнетроны смотрели ?

На импульсные магнетроны даются макс. напряжение, ток, dV/dt, длительность импульса, скважность, мощность.
На непрерывные - макс. напряжение, ток, средний ток.

Есть требования к времени прогрева катода и к снижению напряжения накала в зависимости от анодного тока (средней мощности).
По поводу пробоев: для импульсных ограничивается энергия на уровне максимальной за импульс и считается число пробоев.
Для непрерывных нужно ток ограничивать.

P.S. делал питание для магнетрона СВЧ печки. 4.2кВ 250мА, источник тока с ограничением напряжения.
Также, есть опыт построения модулятора 50кВ 3А.

[SNGNL]

Люди работают с установками магнетронного напыления.

Если у вас имеются конкретные вопросы, напишите. Постараюсь их переадресовать специалистам.

[Methane]

Вот решил собрать источник питания для такой штуки и столкнулся с проблемой не хватки описания такой нагрузки как магнетрон. Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.

Магнетронов, это тех что в вакуумной камере? Для "coating"? Не тех что в микроволновках?

[wapoo]

меня тоже интересует, в принципе всё посчитано, вот для диплома нужно описать эту нагрузку. есть у кого нибудь ссылки и т.д.? буду очень признателен.
будущий пром электроник

[hrundell]

Но ничего не сказано о динамике и параметров импульсов, нет ничего конкретного по каждому режиму работы.. Я понимаю что вопрос очень специфический, но все же решил закинуть удочку вдруг кто попадется.

Для DC-магнетрона, а он самый распространенный (есть еще ВЧ), никаких импульсов не надо, просто DC. Наверное, просто плохо представляете, что это. А это, утрированно, металлический кусок в вакууме среди магнитного поля, при подаче напяжения на него, возникает ионизация (стабильный плазменный разряд), итд. итп. в результате этот кусок распыляется по молекулам Ничего заумного от БП не требуется, магнетрон не испортится...

меня тоже интересует, в принципе всё посчитано, вот для диплома нужно описать эту нагрузку. есть у кого нибудь ссылки и т.д.? буду очень признателен.
будущий пром электроник

Специфика в другом: могут возникать короткие замыкания в виде дуги от магнетрона (катода) к аноду (БП должен кратковременно снять напругу)(вот где может помочь импульсный режим, как блоку, так и магнетрону), могут быть и безтоковые паузы (БП желательно снабдить вольтдобавкой). Одним словом, нагрузка меняется в больших пределах, поэтому БП должен иметь режимы работы со стабилизацией по току/напряжению/мощности (ОС разумеется). А самое главное - надежность! Пусть он на 6 кВт, т.е примерно 10А номинально, а при дуге, если ее допустить, будет до 200 А...

Нашел описание аналогов подобных источников но там только общие сведения.
Напряжение на нагрузке максимальное;
Мощность нагрузки;
Описание нескольких режимов:
Режим тренировки магнетрона
Режим постоянного тока магнетрона
Режим импульсного (даны частоты)
Режим дугогашения (время сняния напряжения)
Режим поджига

Режим тренировки магнетрона - когда тот самый "кусок металла" загрязнен, возникают частые дуги, поэтому это режим очистки магнетрона, где не требуется качественного распыления. Самый пугающий режим для БП, того и глядишь - коротнет, а на маленьких токах "чистить" долго...
Режим постоянного тока магнетрона - тот самый просто DC
Режим импульсного (даны частоты) - DC подается импульсами, что препятствует частому дугообразованию...
Режим дугогашения (время сняния напряжения) - доли секунд без напруги, и дуги нет, любой приличный БПМ работает с этим.
Режим поджига - Не всегда плазма магнетрона стабильна, мало ионов, или слабо магнитное поле (ДА! Магнитное поле - не результат работы Магнетрона, оно из постоянных магнитов), и магнетрон "потух" Иногда для поджига надо поднять напр. до 1000 В, появится разряд, и магнетрон выходит на обычную ВАХ.
В целом, почти все описано, лучше, конечно, один раз взгянуть
А кто пишет диплом, возможно, могу помочь с практической реализацией проекта...

[Roman_msk]

А кто пишет диплом, возможно, могу помочь с практической реализацией проекта...

также интересна тема, есть потребность в проектировании подобного БП, просьба откликнуться кто может посодействовать ...