Mega16, Fusebits, Communication Error Опции

[AndreyVN]

Всем привет!
Купил на AliExpress десяток ATmega16, подключился через SPI в режиме программирования, контроллер опознался, очистил ему Flash, прочитал FUSEBITS. Смотрю, CKOPT не правильно выставлен, сейчас, думаю, подправлю CKOPT=0 (внешний кварц >1MHz), заодно установил размер области загрузчика BOOTSZ0=0, BOOTSZ1=0. С этого момента наблюдаю Communication error на все попытки связаться с контроллером. Не хочу торопиться выпаивать кристалл, хочется понять, что я сделал не так? И есть ли шанс оживить контроллер?