Группа: Свой
Сообщений: 156
Регистрация: 1-02-05
Из: the Earth
Пользователь №: 2 331
Добрый день,
знающие, подскажите, пожалуйста, какие толщины пассиввации (Si3N4) могут обеспечить производители в стандартном техпроцессе и без значительного удорожания? Поцесс CMOS 0,6мкм.
Сейчас нам делают прибор с толщиной пассивации 600 нм. По определённым причинам актуально увеличить эту толщину.
Пассивация нитридом кремния, Диапазон толщин пассивирующего покрытия
Sep 3 2014, 10:10
