Группа: Участник
Сообщений: 11
Регистрация: 10-06-16
Пользователь №: 92 128
Пытаюсь сформировать структуру МОП-транзистора с trench-канавками с помощью приложения Athena в Silvaco TCAD 2016. Возникает ошибка "минимальное значение полигона сетки меньше 0.001 мкм" и дальнейшее моделирование структуры прерывается. Какие пути устранения ошибки посоветуете? Какими средствами TCAD для оптимизации сетки Вы пользуетесь?
Попробуйте использовать модуль "Victory Process". Сетка, формируемая в этом модуле, имеет заданный пользователем шаг для всех слоев (поликремний, Si, SiO2 и др.) и только в местах структурных изгибов уплотняется до заданного значения "множителя уплотнения" - значения параметра resolution команды Init. Ваша проблема с сеткой должна устраниться при таком подходе.
Проблемы с сеткой в Silvaco TCAD 2016, Ошибка при формировании сетки в изогнутой структуре
Jun 10 2016, 12:34
