Моделирование процесса анизотропного травления, кристаллов кремния Опции

[Yuri Potapoff]

Уважаемые господа!

Компания Coventor (www.coventor.com) ведущий производитель
программного обеспечения для проектирования микроэлектромеханических
систем (MEMS) выпустила новый продукт Etch3D, представляющий собой
специализированное программное обеспечение для моделирования процесса
"мокрого" анизотропного травления кристаллов кремния.



Компьютерное моделирование данного процесса позволяет избежать
излишних затрат на экспериментальные процедуры калибровки
технологического процесса. Пользователь имеет возможность оценить
качество полученных масок и понять трехмерную форму объектов,
полученных в результате их использования, правильно выбрать травитель,
его температуру и концентрацию, определить время травления.

Продукт Etch3D полностью интегрирован с модулем MEMulator, входящим в
состав пакета CoventorWare и позволяющем генерировать реалистичные 3D
модели MEMS объектов, поперечные сечения, сетки разбиения для
моделирования методом конечных элементов, последовательности
изображений показывающих всю технологическую цепочку.

Напомним, что недавно линию продуктов Coventor пополнил еще один
модуль EM3DS, представляющий собой программу моделирования планарных
СВЧ структур методом моментов. Что дало возможность отказаться от
использования для этих целей продуктов третьих фирм.

Более подробное описание всех продуктов компании Coventor можно найти
по адресу:

http://www.coventor.ru

За любой дополнительной информацией просим обращаться по адресу
info@eltm.ru или телефону (095) 974-14-80