Группа: Свой
Сообщений: 398
Регистрация: 30-12-09
Из: Москва, Зеленоград
Пользователь №: 54 579
Собственно меня интересует как калибровать synopsys TCAD под заданный техпроцесс, и какие данные необходимо снимать с установок диффузии, ионного легирования, термического отжига и т.д. (Установки ещё с советских времён.)