Терзает меня один лишь вопрос: почему делают или всю металлизацию алюминием, или всю медью со всем связанным с ней гемором.
Почему не делают только M1-M2 алюминием (чтобы кремний не загрязнять), а дальше - медь безо всяких barrier metals? Неужели электропроводность меди окруженной SiO2 так сильно падает? Не вполне понимаю физику этого процесса.
--------------------
|