Приветствую, требуется изучить вопрос и изготовить прототип.

Задача. Напыление слоя платины на керамику с последующим травлением рисунка.

Вопросы по этапам:
1. Тонкости процесса напыления, травления методом фотолитографии на керамике?
2. Какую выбрать керамическую подложку толщиной 0,2-0,3мм с минимальной Теплопроводностью?
3. Нанесение защитного покрытия.
4. Последующая резка заготовок? (размером ~ 5 x 15mm)
5. Где в России такую работу можно заказать?

Года три назад работал на ОАО Авангард. http://www.avangard.org/index.php?option=c...0&Itemid=41
Проектировали устройство с использование керамики на основе нитрита алюминния (лучшая теплопроводность после нитрита бария).
Тонкостей процесса из головы не помню. Не факт что использовали платину. Возможность освежить память возникнет не раньше следующей недели.

Мне как раз бы с меньшей теплопроводностью.

Датчики температуры? Наверное немаловажный фактор соотношение ТКЛР пленки Pt и подложки. Теплопроводность меньше у алюмооксидной керамики - чем меньше содержание оксида алюминия, тем меньше теплопроводность. У поликора (до 99,9 %) наивысшая теплопроводность. Керамика, применяемая в толстопленочной технологии содержит 94-96 % окиси алюминия и теплопроводность ее ниже, но опять же нужно учитывать другие параметры, такие как, например, требуемая чистота поверхности (точно не могу сказать, но либо отполировать последнюю невозможно из=за вязкости, либо просто не делают, т. к. для толстопленочной технологии это не нужно).

2 MadGarry: Во первых, не нитрит, а нитрид, а во-вторых, наверное всё-таки нитрид бора, а не бария, либо я что-то не знал до сих пор. Поправьте, если не прав.

Ищем в гугле фразу "подложка AIN".

Не понял!

Да, Вы правы, я здесь ошибся дважды. Конечно же нитрид алюминия и оксид бериллия.
http://ru.wikipedia.org/wiki/%D0%9D%D0%B8%...%BD%D0%B8%D1%8F

Да, конечно, BeO - классика, но постепенно от нее отказываются в связи с токсичностью, хотя в миловских приложениях некоторые компании до сих пор используют его. А нитрид бора это скорее эксклюзив, который я встречал только, как упоминание.

Честно скажу, напылением платины никогда не занимался. Добычей из деталюшек - было дело.
Но. По нанесению тонких пленок платины http://ntrs.nasa.gov/archive/nasa/casi.ntr..._2005060978.pdf - там еще весьма солидный список литературы. Где делать - там где вдруг остались нормальные технологи и магнетронное распыление. 100% там есть и порезка - либо лазер, либо скрайбирование и разломка.
Очень странное требование по минимальной теплопроводности. Вам что, нужен градиент температуры? Обычно его пытаются избежать как раз на измерительных пленках. При Ваших размерах с большой вероятностью, как ни крути, у пленки будет та же температура, что и у подложки. Самыми теплыми на ощупь, а значит самой фиговой теплопроводностью обладали подложки из ситалла СТ-32-1 ТХ0.781.004ТУ (молочно-светло-бежевые такие) еще слышал о существовании подложек из кварца плавленного С5-1 ТХ0.781.005ТУ, но никогда вживую не видел. Теплопроводность та же, что и у ситалла - раз в 30 хуже поликора, т.е. никакая.

Представляю, сколько будет стоить платиновая мишень для магнетрона. Кода - то наши соседи пылили серебро. Мишень для МАГ-5 весила около 3 кг. Тут больше подойдет электроннолучевой нагрев. Можно обойтись кусочком небольшого размера.

И еще чтобы работали с драгметами. Иначе связываться никто не будет. Да и не просто с драгметами, непосредственно с платиной должны работать, т. к. отчетности с учетом разработки нового тех. процесса будет больше, чем выгоды.

Ага, я не стал упоминать их, т. к. не уверен, что они существуют ныне. У меня валяются несколько ситалловых подложек в качесве подстилок, пластины из плавленного кварца вроде бы видел - как стекляшка на вид.

Я больше по приколу написал.
Мы драгметаллы никогда не пылили - только гальваника. Если бы не термодатчики, для меня это вообще был бы нонсенс. Но здесь без напыления не обойтись - обычный проводящий подслой для гальванического доращивания недопустим.
Прикинул массу мишени - при наших 20 сантиметрах диаметра и 6 с копейками миллиметрах толщины масса составила бы где-то 4.4кГ платины, каких-то 230 000 баксов.
Вообще-то сильно подозреваю, что задача в наше время здесь нерешаемая, мало того, что драгметаллы, так еще и отрабатывать технологию напыления надо - немерянно уйдет в брак, плюс адгезия платины к имеющимся подложкам неизвестна - тоже надо отрабатывать. ИМХО дешевле заказать на Западе - там многие пылят платину.

Покупать катод за такие деньги конечно не вариант, только если ктото уже пылит...

по малой тепло-сти Керамика из диоксида циркония, погуглил.

Интересен еще вопрос пылить через маску\трафарет? реально такое? У НАСА описан процесс интересно...



Практически, датчики потока.

http://www.sitall-ua.ru/index.php?Content=...0202&menu=1 СИТАЛЛ

Добрый день, какая температура эксплуатации. М.Б. это уже пройдено.
С уважением.

До 200ºС (Это с запасом)

Да никаких проблем - это все методы формирования требуемой топологии, всё-таки платину просто так не потравишь, а через маску сразу готовая топология. Существуют метод съемной маски, когда металлическую маску плотно прижимают к подложке, и метод контактной маски или метод взрывной фотолитографии. В последнем случае маска формируется напылением, например, алюминия, в котором фотолитографией формируются "окна" через которые уже напыляется необходимый функциональный материал (в данном случае платина) таким образом, чтобы толщина напыленной маски была больше функционального слоя, сформированного после и "проемы" "окон" имели оголенную маску. Далее заготовка помещается в селективный травитель, который стравливает маску (за счет ее оголения в "проемах") и взрывобразно срывает напыленный функциональный слой вместе с собой в местах, где не было "окон" (отсюда одно из названий метода). В этом методе топология может быть более сложной. Наверное Вы именно про этот метод читали.

Ну, а по сути датчик температуры в более сложном датчике потока, если я тот датчик нашел.

Вот пример готового микроэлектронного датчика http://www.npoit.ru/products/reformative-e...at-flux-sensors
В том смысле, что может быть не следует заморачиваться с драгметалллами. Ведь проблема не техническая (ее давно прошли), а учет и обращение драгметаллов.

С технологиями определились, теперь кто бы реализовал задачу в образце... Есть варианты?

Есть пара институтов которые занимаются магнетронными напылителями, но о производстве пока информацию найти не удалось.

Почему тема заглохла? Неужто все забили на напыление платины? Ну люди добрые не Хераусом же единым должна пользоваться промышленность отечественная! И что то не совсем понятно почему товарищ с ником "ledum
" так против гальваники в термодатчиках? Ledum, подскажите пожалуйста почему не получится осадить платину гальванически? В чём будет проблема?

Я не против гальваники платины. Я в какой-то мере против гальваники платины в термодатчиках. Смысл? Для гальваники Вам нужен проводящий подслой, который быстрей всего непредсказуемо исказит платиновый слой как датчик. Конечно, можно нанести проводящий подслой напылением самой платины - но здесь уже имеет смысл ИМХО просто допылить до нужных Ом на квадрат без гальваники. Да и слой платины должен получиться очень тонким, как для гальваники. Была у меня мысль нанести буферный проводник на некий легко растворимый материал-носитель (или просто сразу взять растворимый металл), потом произвести гальванику платины, потом толстой пленкой нанести некий отверждевающий стойкий к растворителям или кислотам диэлектрик. После чего растворить диэлектрик-носитель с буферным подслоем или несущий металл, оставив платину и толстопленочный диэлектрик. Но ИМХО это больше фантазии. Из-за сложности контроля гальванической платины.